多通道薄膜表面放電薄膜開關如圖3所示。薄膜開關包括兩個由薄膜-氣體介質界面絕緣的平行板狀主電極和一列放置于主電極之間的觸發(fā)電極,觸發(fā)系統(tǒng)對多個觸發(fā)電極同步施加電壓脈沖而引發(fā)主電極導通,觸發(fā)系統(tǒng)與前述場畸變薄膜開關中的相同,薄膜開關置于有機玻璃室中,其中分別充以不同氣壓的空氣、SF6或抽真空。實驗發(fā)現,在所有情況下,觸發(fā)開關中12個平行放電間隙并不困難,但只有在使用真空和壓縮空氣時,輸出脈沖形狀才接近方波。能夠獲得的最快前沿大大超出了1ns的設計指標,約8ns,脈沖的幅值也僅達到3.5kV,波形更不規(guī)則(圖4)。